This International Standard specifies a method for the determination of the film thickness of a fine ceramic film and ceramic coatings by a contact-probe profilometer. The method is suitable for film thicknesses in the range of 10 nm to 10 000 nm.
Diese Internationale Norm legt ein Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke feinkeramischer Schichten und keramischer Schichten mit einem Kontaktprofilometer fest. Das Verfahren ist für Schichtdicken im Bereich von 10 nm bis 10 000 nm geeignet.