This document specifies the calibration of those leaks that are used for the adjustment of leak detectors for the determination of leakage rate in everyday use. One type of calibration method is a comparison with a reference leak. In this way, the leaks used for routine use become traceable to a primary standard. In other calibration methods, the value of vapour pressure was measured directly or calculated over a known volume.
The comparison procedures are preferably applicable to helium leaks, because this test gas can be selectively measured by a mass spectrometer leak detector (MSLD) (the definition of MSLD is given in ISO 20484).
Calibration by comparison (see methods A, As, B and Bs below) with known reference leaks is easily possible for leaks with reservoir and leakage rates below 10-7 Pa·m³/s.
Dieses Dokument legt die Kalibrierung der Lecks fest, die für die Justierung von Leckdetektoren für die Bestimmung von Leckageraten im täglichen Gebrauch verwendet werden. Eine Art des Kalibrierverfahrens ist ein Vergleich mit einem Referenzleck. Auf diese Weise werden die Lecks zur routinemäßigen Verwen-dung auf eine primäre Norm rückführbar. Bei anderen Kalibrierverfahren wurde der Wert des Dampfdrucks direkt gemessen oder über ein bekanntes Volumen berechnet.
Die Vergleichsverfahren gelten vorzugsweise für Heliumlecks, da dieses Prüfgas selektiv mithilfe eines Massenspektrometerleckdetektors (en: mass spectrometer leak detector, MSLD) gemessen werden kann (die Definition des MSLD wird in ISO 20484 angegeben).
Die Kalibrierung durch Vergleich (siehe Verfahren A, As, B und Bs unten) mit bekannten Referenzlecks ist einfach möglich für Lecks mit Reservoir und Leckageraten unter 10-7 Pa . m³/s.