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ÖNORM EN ISO 25178-603:2013-12

Действует
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013)
This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.
Dieser Teil der ISO 25178 legt die messtechnischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI-) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit fest.
ICS
17.040.20 Properties of surfaces / Свойства поверхностей