This part of ISO 25178 specifies the metrological characteristics of coherence scanning interferometry (CSI) systems for 3D mapping of surface height.
Dieser Teil der ISO 25178 gilt für die messtechnischen Merkmale von Systemen der Weißlicht-Interferometrie (en: coherence scanning interferometry, CSI) für die dreidimensionale Abbildung von Oberflächenhöhen.