This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.
Dieses Dokument beschreibt die Einflussgrößen und Messgerätseigenschaften von konfokalen Mikroskopiesystemen zur flächenhaften Messung von Oberflächentopographien. Da Oberflächenprofile aus Oberflächentopographiebildern extrahierbar sind, können die Verfahren, die in diesem Dokument beschrieben werden, auch auf Profilmessungen angewendet werden.