This document specifies a method for the measurement of metal coating thickness by first forming a step between the surface of the coating and the surface of its substrate and then measuring the step height using a profile recording instrument. It covers the instrumentation characteristics and the procedure appropriate to this specific application of profilometric methods.
The method is applicable to the measurement of thicknesses of metal coatings from 0,01 µm to 1 000 µm on flat surfaces and, if appropriate precautions are taken, on cylindrical surfaces. It is highly suitable for the measurement of minute thicknesses but, for thicknesses of less than 0,01 µm, surface flatness and surface smoothness are very critical and, accordingly, the method is not suitable for use down to the lowest level of measurement usual for electronic stylus instruments. The method is suitable for measuring coating thicknesses when preparing coating thickness reference standards.
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Messung der Schichtdicke von metallischen Überzügen fest, wobei zunächst eine Stufe zwischen der Oberfläche des Überzugs und der Oberfläche seines Grundwerkstoffs gebildet und anschließend deren Höhe mit einem Profilaufzeichnungsgerät gemessen wird. Es behandelt die Eigenschaften der Einrichtung sowie die für die spezifische Anwendung der profilometrischen Verfahren geeignete Durchführung.
Das Verfahren ist für die Schichtdickenmessung von metallischen Überzügen von 0,01 µm bis 1 000 µm auf ebenen Oberflächen und, bei Berücksichtigung geeigneter Maßnahmen, auf zylindrischen Oberflächen anwendbar. Es ist besonders zur Messung kleinster Dicken geeignet, bei Dicken von weniger als 0,01 µm sind die Einflüsse der Ebenheit und Glätte allerdings sehr kritisch. Daher ist das Verfahren nicht für die Anwendung im untersten Messbereich geeignet, der für elektronische Tastschnittgeräte üblich ist. Das Verfahren ist anwendbar bei Schichtdickenmessungen, die als Schichtdicken-Referenzproben vorbereitet werden.