This document specifies a method for the dynamic preparation of calibration gas mixtures containing at least two gases (usually one of them is a complementary gas) from pure gases or gas pre-mixtures using critical flow orifices systems.
The method applies principally to the preparation of mixtures of non-reactive gases that do not react with any of the materials forming the gas circuit inside the critical flow orifices system or auxiliary equipment. It has the merit of allowing multi-component mixtures to be prepared as readily as binary mixtures if an appropriate number of critical flow orifices are used.
By selecting appropriate combinations of critical flow orifices, a dilution ratio of 1 × 104 is achievable.
Although it is more particularly applicable to the preparation of gas mixtures at atmospheric pressure, the method also offers the possibility of preparing calibration gas mixtures at pressures greater than atmospheric. The upstream pressure will need to be at least two times higher than downstream pressure.
The range of flow rates covered by this document extends from 1 ml/min to 10 l/min.
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur dynamischen Herstellung von Kalibriergasgemischen mit min-destens zwei Gasen (üblicherweise ist eins von beiden ein Komplementärgas) aus reinen Gasen oder Gasvor-gemischen mithilfe von Systemen kritischer Düsen fest.
Das Verfahren findet hauptsächlich Anwendung bei der Herstellung von Gemischen aus nichtreaktions-fähigen Gasen, die mit keinem der Materialien des Gaskreislaufes in den Systemen kritischer Düsen oder deren Hilfsausrüstung reagieren. Der Vorteil des Verfahrens besteht darin, dass sich bei Verwendung einer entsprechenden Zahl von kritischen Düsen Multikomponenten-Gemische ebenso leicht herstellen lassen wie binäre Gemische.
Durch die Auswahl geeigneter Kombinationen von kritischen Düsen ist ein Verdünnungsverhältnis von 1 × 104 erreichbar.
Obwohl besonders geeignet für die Herstellung von Gasgemischen bei Umgebungsdruck, ist das Verfahren jedoch auch bei der Herstellung von Kalibriergasgemischen bei Drücken über Umgebungsdruck anwendbar. Der Vordruck muss dabei mindestens doppelt so hoch sein wie der Nachdruck.
Der Bereich der Strömungsraten, der in diesem Dokument abgedeckt ist, reicht von 1 ml/min bis 10 l/min.