This International Standard specifies a method for the
measurement of the local thickness of metallic coatings by
examination of cross-sections with a scanning electron microscope
(SEM). It is destructive and has an uncertainty of less
than 10 96 or 0,l pm, whichever is greater. It can be used for
thicknesses up to several millimetres, but it is usually more
practical to use a light microscope (IS0 1463) when applicable.
Diese Internationale Norm legt ein Verfahren zur Messung der örtlichen Dicke metallischer Überzüge fest, in dem Querschnitte mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) untersucht werden. Es handelt sich um ein zerstörendes Verfahren, das eine Meßunsicherheit von weniger als 10 % oder 0,1 un hat. Dieses Verfahren kann für Schichtdicken bis zu mehreren Millimetern verwendet werden, es ist jedoch im allgemeinen zweckmäßiger, hierfür ein Lichtmikroskop (ISO 1463) anzuwenden, so-fern das möglich ist.