This Technical Specification gives terms and definitions related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies. It forms one part of multi-part terminology and definitions documentation covering the different aspects of nanotechnologies.
All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing. Many of the listed processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Depending on controllable conditions, such processes may result in material features at the nanoscale or, alternatively, larger scales.
There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document.
Diese Technische Spezifikation enthält Begriffe und Definitionen, die sich auf Prozesse der Nanoherstellung im Bereich der Nanotechnologien beziehen. Sie stellt einen Teil einer mehrteiligen Dokumentation zur Terminologie und zu Festlegungen dar, die die verschiedenen Aspekte von Nanotechnologien behandelt.
Alle Begriffe bezüglich Prozessen in diesem Dokument sind für die Nanoherstellung maßgebend. Viele der aufgeführten Prozesse sind nicht ausschließlich nur für den Nanomaßstab maßgebend. In Abhängigkeit von regelbaren Bedingungen können derartige Prozesse zu Materialeigenschaften im Nanomaßstab, oder alternativ auch in größeren Maßstäben führen.
Es gibt im Zusammenhang mit der Nanoherstellung viele weitere Begriffe, die Werkzeuge, Teile, Werkstoffe, Verfahren zur Systemkontrolle oder Messtechnik-Verfahren bezeichnen, die aber nicht Gegenstand des Anwendungsbereiches dieses Dokumentes sind.