This document defines terms related to nanomanufacturing processes in the field of nanotechnologies.
All the process terms in this document are relevant to nanomanufacturing, however, many of the listed processes are not exclusively relevant to the nanoscale. Terms that are not exclusive are noted within the definitions. Depending on controllable conditions, such processes can result in material features at the nanoscale or, alternatively, at larger scales.
There are many other terms that name tools, components, materials, systems control methods or metrology methods associated with nanomanufacturing that are beyond the scope of this document.
Terms and definitions from other parts of the ISO/TS 80004 series are reproduced in Clause 3 for context and better understanding.
Dieses Dokument legt Begriffe zu industriellen Nanoherstellungsprozessen auf dem Gebiet der Nanotechnologien fest.
Alle in diesem Dokument enthaltenen prozessbezogenen Begriffe sind für die industrielle Nanoherstellung von Bedeutung, viele der aufgeführten Prozesse jedoch sind nicht ausschließlich auf den Nanomaßstab anwendbar. Begriffe, die nicht in dieser Weise exklusiv sind, sind in den Definitionen als solche gekennzeichnet. In Abhängigkeit von regelbaren Bedingungen können derartige Prozesse zu Materialeigenschaften im Nanomaßstab oder alternativ auch in größeren Maßstäben führen.
Es gibt im Zusammenhang mit der industriellen Nanoherstellung viele weitere Begriffe, die Werkzeuge, Teile, Werkstoffe, Verfahren zur Systemkontrolle oder Messtechnik-Verfahren bezeichnen, die aber nicht Gegenstand des Anwendungsbereiches dieses Dokumentes sind.
Um den Zusammenhang zu verdeutlichen und für ein besseres Verständnis zu sorgen, werden in Abschnitt 3 Begriffe aus anderen Teilen der Reihe ISO/TS 80004 wiedergegeben.