Стандарты ON ICS 31 Electronics / Электроника 31.080 Semiconductor devices / Полупроводниковые приборы 31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом

OVE EN 62047-26:2017-01

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016) (english version)

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом

31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом