ÖVE/ÖNORM EN 62047-11:2014-06

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013) (english version)

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие

31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом

31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом