ÖVE/ÖNORM EN 62047-12:2012-08

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011) (english version)

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

IEC 62047-3:2006 ed1.0

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing — 15 стр.

ISO 12107:2012

Действует

Metallic materials -- Fatigue testing -- Statistical planning and analysis of data — 44 стр.

BS EN 62047-3:2006

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Thin film standard test piece for tensile testing — 12 стр.