ÖVE/ÖNORM EN 62047-17:2016-02

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015) (english version)

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

IEC 62047-2:2006 ed1.0

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials — 25 стр.

BS EN 62047-2:2006

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Tensile testing method of thin film materials — 16 стр.