Каталог стандартов
+7 (495) 223-46-76
+7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru
О компании
Стандарты
Контакты
Заказать стандарт
Стандарты
BSI
18/30350530 DC
Действует
BS ISO 21859. Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
— 10 стр.
Описание
Изменения
Ссылки
Версии
ICS
81.060.30 Advanced ceramics / Высококачественная керамика