Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru

18/30350530 DC

Действует
BS ISO 21859. Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment — 10 стр.
ICS
81.060.30 Advanced ceramics / Высококачественная керамика