Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru

BS EN 62047-11:2013

Действует
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems — 22 стр.
ICS
31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие