BS EN 62047-11:2013

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems — 22 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

BS IEC 62047-30:2017

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film — 22 стр.

BS EN 62047-3:2006

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Thin film standard test piece for tensile testing — 12 стр.