BS IEC 62047-30:2017

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film — 22 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

31.140 Piezoelectric devices / Пьезоэлектрические и диэлектрические приборы

31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие