BS IEC 62047-30:2017

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film — 22 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

BS EN 50324-2:2002

Действует

Piezoelectric properties of ceramic materials and components. Methods of measurement. Low power — 30 стр.

IEC 60483:1976 ed1.0

Действует

Guide to dynamic measurements of piezoelectric ceramics with high electromechanical coupling — 18 стр.

На этот документ ссылаются

BS EN 62047-11:2013

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems — 22 стр.