Каталог стандартов
+7 (495) 223-46-76
+7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru
О компании
Стандарты
Контакты
Заказать стандарт
Стандарты
BSI
BS EN 62047-16:2015
Действует
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
— 16 стр.
Описание
Изменения
Ссылки
Версии
ICS
31.080.99 Other semiconductor devices / Полупроводниковые приборы прочие
