BS EN 62047-16:2015

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods — 16 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

IEC 62047-21:2014 ed1.0

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials — 26 стр.

BS EN 62047-21:2014

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials — 16 стр.