DIN EN 62047-1:2006-10

Отменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006 — 28 стр.

Заменен на

DIN EN 62047-1:2016-12

ICS

01.040.31 Electronics (Vocabularies) / Электроника (Словари)

31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом

31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом