DIN EN 62047-1:2006-10

Отменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006 — 28 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

DIN EN 62047-1:2016-12

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016 — 37 стр.

DIN IEC 62047-11:2010-06

Отменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials (IEC 47F/49/CD:2010)

На этот документ ссылаются

DIN EN 62047-1:2016-12

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016 — 37 стр.