Стандарты DIN

DIN 32563:2002-03

Действует

Production equipment for microsystems - System for classification of components for microsystems — 16 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

DIN ISO 1302:1993-12

Отменен

Technical drawings - Method of indicating surface texture; Identical with ISO 1302:1992

DIN EN ISO 14644-1:1999-07

Отменен

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness (ISO 14644-1:1999); German version EN ISO 14644-1:1999 — 17 стр.

На этот документ ссылаются

DIN 5117:2004-05

Действует

Adjustable screw clamps — 6 стр.

DIN 32564-1:2004-05

Действует

Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology — 6 стр.