DIN EN 62047-14:2010-10

Отменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 47F/59/CD:2010)

Описание Изменения Ссылки Версии

На этот документ ссылаются

DIN EN 62047-14:2012-10

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012); German version EN 62047-14:2012 — 20 стр.