DIN EN 62047-4:2011-03

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010 — 22 стр.

Описание Изменения Ссылки Версии

ICS

31.080.01 Semiconductor devices in general / Полупроводниковые приборы в целом

31.220.01 Electromechanical components in general / Электромеханические компоненты в целом