Каталог стандартов

+7 (495) 223-46-76 +7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru

DIN 32566:2007-12

Действует
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring — 9 стр.
ICS
37.020 Optical. Including microscopes, telescopes, binoculars, optical materials, optical components and optical systems / Оптическое оборудование. Включая микроскопы, телескопы и т.д.
31.020 Electronic components in general / Электронные компоненты в целом