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ÖNORM EN ISO 14644-10:2013-06

Действует
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)
This part of ISO 14644 defines the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with
regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and
particles). This part of ISO 14644 is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled
environments such as walls, ceilings, floors, working environment, tools, equipment and devices.
Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieser Teil der Reihe ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.
ICS
13.040.35 Cleanrooms and associated controlled environments / Чистые помещения и связанные с ними контролируемые условия окружающей среды