This document gives guidelines for cleaning to a specified degree on cleanroom surfaces, surfaces of equipment in a cleanroom and surfaces of materials in a cleanroom. Under consideration are all surfaces (external or internal) that are of interest. It provides guidance on the assessment of cleaning methods for achieving the required surface cleanliness by particle concentration (SCP) and surface cleanliness by chemical concentration (SCC) classes and which techniques should be considered to achieve these specified levels.
The appropriateness of cleaning techniques will make reference to the cleanliness classes and associated test methods found in ISO 14644-9 and ISO 14644-10.
The following matters of general guidance will be provided:
— expected surface cleanliness levels;
— suitability of cleaning methods;
— compatibility of surfaces with the cleaning technique;
— assessment of cleaning appropriateness.
The following will be excluded from this document:
— classification of cleaning methods;
— product produced within a cleanroom;
— specific surface-related cleaning methods;
— detailed description of cleaning mechanisms, methods and procedures of various cleaning methods;
— detailed material characteristics;
— description of damage mechanisms by cleaning processes and time-dependent effects;
— references to interactive bonding forces between contaminants and surfaces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent;
— other characteristics of particles such as electrostatic charge, ionic charges, etc.;
— chemical reactions between molecular contaminants and surfaces;
— microbiological aspects of surface cleanliness;
— radioactive aspects of contamination;
— health and safety considerations;
— environmental aspects such as waste disposal, emissions, etc.;
— selection and use of statistical methods.
Dieses Dokument gibt Richtlinien zur Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in
einem Reinraum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad.
Berücksichtigt werden alle relevanten Oberflächen (extern oder intern). Es gibt Anleitungen zur Bewertung
von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Klassen der partikulären Oberflächenreinheit (en:
surface cleanliness by particle concentration, SCP) und der chemischen Oberflächenreinheit (en: surface
cleanliness by chemical concentration, SCC) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser
festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten.
Bei der Eignung von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsklassen und die damit verbundenen
Prüfverfahren aus ISO 14644-9 und ISO 14644-10 verwiesen.
Zu folgenden Aspekten werden allgemeine Anleitungen gegeben:
- die erwarteten Oberflächenreinheitsgrade;
- die Eignung der Reinigungsverfahren;
- die Kompatibilität von Oberflächen mit der Reinigungstechnik;
- die Bewertung der Eignung für die Reinigung.
Das Folgende wird in diesem Dokument nicht berücksichtigt:
- die Klassifizierung von Reinigungsverfahren;
- das innerhalb eines Reinraums hergestellte Produkt;
- die spezifische Oberfläche in Bezug auf die Reinigungsverfahren;
- die detaillierte Beschreibung von Reinigungsmechanismen, -verfahren sowie Verfahrensweisen von
verschiedenen Reinigungsverfahren;
- die detaillierten Materialkenngrößen;
- die Beschreibung von Mechanismen hinsichtlich Schäden durch die Reinigungsprozesse und
zeitabhängigen Auswirkungen;
- Verweisungen auf interaktive Bindungskräfte zwischen den Kontaminanten und Oberflächen oder
Generierungsprozesse, die üblicherweise zeit- und prozessabhängig sind;
- weitere Kenngrößen von Partikeln, beispielsweise elektrostatische Ladung, Ionenladungen usw.;
- die chemischen Reaktionen zwischen molekularen Kontaminanten und Oberflächen;
- die mikrobiologischen Aspekte der Oberflächenreinheit;
- die radioaktiven Aspekte der Kontamination;
- die Aspekte des Gesundheitsschutzes und der Arbeitssicherheit;
- die Umweltaspekte, beispielsweise Abfallentsorgung, Emissionen usw.;
- die Auswahl und Anwendung von statistischen Verfahren.