ÖVE/ÖNORM EN 62047-10:2012-05

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011) (english version)

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

IEC 62047-8:2011 ed1.0

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films — 36 стр.

BS EN 62047-8:2011

Действует

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Strip bending test method for tensile property measurement of thin films — 22 стр.