Каталог стандартов
+7 (495) 223-46-76
+7 (812) 309-78-59
inform@normdocs.ru
О компании
Стандарты
Контакты
Заказать стандарт
Стандарты
BSI
BS EN 62047-21:2014
Действует
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
— 16 стр.
Описание
Изменения
Ссылки
Версии
Ссылочные документы
IEC 62047-8:2011 ed1.0
Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
— 36 стр.
BS EN 62047-8:2011
Действует
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
— 22 стр.
На этот документ ссылаются
BS EN 62047-16:2015
Действует
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for determining residual stresses of MEMS films. Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
— 16 стр.
ÖVE/ÖNORM EN 62047-16:2016-02
Действует
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015) (english version)