ÖVE/ÖNORM EN 62047-14:2012-11

Действует

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012) (english version)

Описание Изменения Ссылки Версии

Ссылочные документы

IEC 62047-1:2005 ed1.0

Заменен

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions — 25 стр.

BS EN 62047-1:2006

Заменен

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Terms and definitions — 28 стр.